レビューSEM

欠陥レビューSEMについてお話します。
これは半導体製造において使用される検査装置の一つで、欠陥が認識できるほどの大きさに画像を拡大するために用いられる装置です。
要するに顕微鏡のようなものですね。
ここでは、欠陥レビューSEMの機能などについてご紹介しますからぜひ最後まで目を通してください。

作業しやすいような状態にする

欠陥レビューSEMは、Defect Review-Scanning Electron Microscopeのことを指します。
走査型電子顕微鏡の理論を応用した装置の一種で、半導体ウエーハ欠陥検査装置によって見つけ出された欠陥を認識できるほどの大きさの画像に拡大することが主な役割です。

ご存じの通り半導体は小さなものですし、繊細な造りとなっています。
検査装置によって検出された欠陥というのは細かいものですし、そのままの状態ではなかなか判別することもできません。

そのため、欠陥レビューSEMを用いて確認できるほどの大きさに拡大するのです。
欠陥部分が小さいままだと対処しきれませんし、欠陥を修正することができたかどうかも分かりませんよね?
高性能な顕微鏡によって欠陥の生じている部分を拡大して、作業しやすいような状態にしていると理解すれば良いでしょう。

この欠陥レビューSEMは半導体電子デバイスの製造ラインにおいて検査装置と一緒に使用されることが多いです。
後の工程において技術者がすばやく意思決定することができるような情報を提供することが主な役割、と考えても良いでしょうね。

レビューSEMによる検査

まずは欠陥検査装置を使用して半導体のウエーハ上に起きている欠陥をチェックします。
ここで検出された段階の欠陥部分は非常に小さいですし、確認しにくい状態ですから、欠陥の生じている位置を座標としてリスト化、ファイルとして出力します。

検査の済んだウエーハとファイルをレビューSEMにローディングしファイルを取り込みます。
ファイルの位置情報に基づいて欠陥の位置を撮影し、画像を拡大します。
こうすることで欠陥の生じている場所を拡大することができますから、あとの工程もスムーズに進むことになりますよね。
なお、現在ではさまざまなメーカーから高性能なレビューSEM機器がリリースされており、半導体工場によって使用している機械は異なります。

レビューSEMについてお話してきましたが、どうだったでしょうか。
難しい話になってしまったかもしれませんが、要するに小さくて確認しにくい欠陥部分を顕微鏡で拡大する、と考えれば分かりやすいですよね。
つまり、レビューSEMは高性能な顕微鏡ということです。
それさえ理解できていればとりあえずはいいでしょう。