2種類の精度

半導体の正確度と精密度についてのお話です。
正確度と精度と聞いてもちんぷんかんぷんという方がほとんどだとは思いますし、特別必要となる知識でもありません。
しかし、半導体の製造においてはこの正確度と精度の二つが非常に重要となります。
そこで、ここでは半導体製造における正確度と精度についてお話したいと思います。

正確度とは

まずは正確度からお話しましょう。
正確度という言葉から何を想像するかは人によって違いがあると思いますが、漠然と正確さを表す数値ということは理解できるのではないでしょうか?

半導体製造における正確度とは、必要とされる数値にどれだけ近いかを表す度数と考えても良いでしょう。
いわゆる真値にどれだけ近づいているか、どれだけ近づけているかを示す指針となるのがこの数字です。
ざっくりと分かりやすく言うと、正しい値に近いかどうかを示す数字です。

正確度という言葉を日頃から使わないため「?」となってしまうかもしれませんが、仕事をしていても「もっと正確に」とか「正確さが足りない」などと言われることがありますよね。
あれと同じことだと考えてほぼ差し支えありません。

作業の内容によっては正確でないとさまざまな問題を引き起こすことも考えられますし、重大なミスに発展する恐れもあります。
正確という字を見ても分かるように、正しく確実にこなすことが何事も大切ですよね。

半導体の製造においても同じです。
基準となる数値に近ければ近いほど、ばらつきが少なければ少ないほど正確度が高いと言います。
真の値、すなわち真値にどれだけ近い値であるかを示す尺度、それが正確度です。

精密度とは

次は精密度についてのお話ですが、精密度は精度と言い換えることもできます。
精度が高い、低いなどという言葉を耳にすることもありますよね。

半導体製造における精度とは複数回にわたって行われる測定ではじき出された数字同士のばらつきの度合いを示す尺度です。
と言ってもいまいちよく分からない、という方がほとんどでしょう。
ちょっと難しいですよね。

射撃を例に出してみましょう。
例えば、一つの的を狙って10回撃つとします。
10回のうち決められた的の中に8回ほどヒットすればこれは精度が高いということになりますよね。
これは理解できますか?

逆に、3~4回ほどしか的の中を撃つことができなかった、というケースでは精度が低いということになります。
ざっくりとぼやけた説明かもしれませんが、要するにこのようなことなのだな、とだけ分かっていただければ大丈夫です。

半導体製造では正確度と精度を何度も計測します。
このプロセスを経ることによってさらに高品質な半導体が作られていくのですね。